IS0 14644-5 krever at installasjon av fast utstyr i renrom skal være basert på design og funksjon av renrom.Følgende detaljer vil bli introdusert nedenfor.
1. Utstyrsinstallasjonsmetode: Den ideelle metoden er å lukke rent rom under installasjonsperioden for utstyret, og ha en dør som kan møte visningsvinkelen til utstyret eller reservere en kanal på brettet for å la nytt utstyr passere gjennom og komme rent inn. rom for å hindre at rent rom nær installasjonsperioden blir forurenset, bør det iverksettes beskyttelsestiltak for å sikre at renrommet fortsatt oppfyller kravene til renhold og det påfølgende arbeidet som kreves.
2. Dersom arbeidet i renrom ikke kan stanses i hver installasjonsperiode, eller hvis det er konstruksjoner som må demonteres, må renrom som kjøres effektivt isoleres fra arbeidsområdet: midlertidige isolasjonsvegger eller skillevegger kan benyttes.For ikke å hindre installasjonsarbeidet, bør det være nok plass rundt utstyret.Hvis forholdene tillater det, kan tilgang til isolasjonsområdet skje gjennom servicekanaler eller andre ikke-kritiske områder: dersom dette ikke er mulig, bør det iverksettes tiltak for å minimere forurensningspåvirkningen fra installasjonsarbeidet.Isolasjonsområdet skal opprettholde likt trykk eller undertrykk.Tilførselen av ren luft bør avbrytes i høyhusområdet for å unngå overtrykk på de omkringliggende renrommene.Hvis tilgang til isolasjonsområdet kun er gjennom et tilstøtende rent rom, bør klebrige puter brukes for å fjerne skitt fra skoene.
3. Etter å ha kommet inn i høydeområdet kan engangsstøvler eller overtrekkssko og arbeidsklær i ett stykke brukes for å unngå å forurense de rene klærne.Disse engangsgjenstandene bør fjernes før de forlater karanteneområdet.Metoder for å overvåke området rundt isolasjonsområdet under utstyrsinstallasjonsprosessen bør utvikles og overvåkingsfrekvensen bør bestemmes for å sikre at forurensning som kan lekke inn i det tilstøtende renrommet oppdages.Etter at isolasjonstiltakene er satt opp, kan det settes opp ulike nødvendige offentlige serviceanlegg, som strøm, vann, gass, vakuum, trykkluft og avløpsledninger.Vær oppmerksom på å kontrollere og isolere røyk og rusk som genereres av operasjonen så mye som mulig for å unngå utilsiktet spredning til det omkringliggende renrommet.Det skal også lette effektiv rengjøring før du fjerner isolasjonsbarrieren.Etter at de offentlige tjenesteanleggene oppfyller brukskravene, bør hele isolasjonsområdet rengjøres og dekontamineres i henhold til foreskrevne rengjøringsprosedyrer.Alle overflater, inkludert alle vegger, utstyr (fast og bevegelig) og gulv, bør støvsuges, tørkes og tørkes, med spesiell oppmerksomhet til rengjøring av områder bak utstyrsskjermer og under utstyr.
4. En foreløpig test av utstyrsytelsen kan utføres basert på de faktiske forholdene i renrommet og installert utstyr, men påfølgende aksepttesting bør utføres når de rene miljøforholdene er fullt ut oppfylt.Avhengig av forholdene på installasjonsstedet, kan du begynne å forsiktig demontere isolasjonsveggen;hvis tilførselen av ren luft er slått av, start den på nytt;tidspunktet for dette stadiet av arbeidet bør velges nøye for å minimere interferens med det normale arbeidet i renrommet.På dette tidspunktet kan det være nødvendig å måle om konsentrasjonen av luftbårne partikler oppfyller spesifiserte krav.
5. Rengjøring og klargjøring av det indre av utstyret og nøkkelprosesskamrene bør utføres under normale rene romforhold.Alle innvendige kammer og alle overflater som kommer i kontakt med produktet eller er involvert i produkttransport må tørkes ned til nødvendig renhetsnivå.Rengjøringssekvensen til utstyret bør være fra topp til bunn.Hvis partikler spres, vil større partikler falle til bunnen av utstyret eller bakken på grunn av tyngdekraften.Rengjør den ytre overflaten av utstyret fra topp til bunn.Når det er nødvendig, bør overflatepartikkeldeteksjon utføres i områder der kravene til produktet eller produksjonsprosessen er kritiske.
6. Med tanke på egenskapene til rene rom, spesielt det store området, høye investeringer, høy ytelse og svært strenge renslighetskrav til høyteknologiske rene rom, er installasjonen av produksjonsprosessutstyr i denne typen rene fabrikker mer lik den av vanlige rene rom.For dette formål ga den nasjonale standarden "Code for Clean Factory Construction and Quality Acceptance" utgitt i 2015 noen bestemmelser for installasjon av produksjonsprosessutstyr i rene fabrikker, hovedsakelig inkludert følgende.
①.For å forhindre forurensning eller til og med skade på renrommet som har gjennomgått "tom" aksept under installasjonsprosessen av produksjonsprosessutstyr, må installasjonsprosessen til utstyret ikke ha overdreven vibrasjon eller tilt, og må ikke deles og forurense utstyret overflater.
②.For å gjøre installasjonen av produksjonsprosessutstyr i renrommet ryddig og uten eller med mindre sitting, og for å følge det rene produksjonsstyringssystemet i rent verksted, sørg for at installasjonsprosessen av produksjonsutstyret er beskyttet i henhold til de ulike " ferdige produkter" og "halvfabrikata" akseptert i "tom tilstand", materialer, maskiner osv. som må brukes i installasjonsprosessen må ikke avgi eller kan produsere (inkludert ved normal drift av renrommet i lang tid tid) forurensninger som er skadelige for produktene som produseres.Det bør brukes rene materialer som er støvfrie, rustfrie, fettfrie og som ikke produserer støv under bruk.
③.Bygningsdekorasjonsoverflaten til det rene rommet skal beskyttes med rene, støvfrie plater, filmer og andre materialer;utstyrets bakplate skal være laget i henhold til design eller utstyrstekniske dokumentkrav.Hvis det ikke stilles krav, bør det brukes rustfrie stålplater eller plastplater.Karbonstålprofiler som brukes til uavhengige fundamenter og gulvforsterkninger bør behandles med anti-korrosjon, og overflaten skal være flat og glatt;elastiske tetningsmaterialer som brukes til fuging.
④.Materialer skal merkes med ingredienser, varianter, produksjonsdato, gyldighetsperiode for lagring, instruksjoner for byggemetode og produktkvalifikasjonssertifikater.Maskiner og verktøy som brukes i rene rom må ikke flyttes til ikke-rene rom for bruk.Maskiner og verktøy må ikke flyttes til renrommet for bruk.Maskiner og verktøy som brukes i det rene området skal sikre at de utsatte delene av maskinen ikke produserer støv eller iverksette tiltak for å hindre at støv forurenser miljøet.Vanlige maskiner og verktøy bør rengjøres i luftslusen før de flyttes til det rene området., bør oppfylle kravene til å være oljefri, smussfri, støvfri og rustfri, og bør flyttes etter å ha bestått inspeksjonen og festet et "Rent" eller "Kun område"-skilt.
⑤.Produksjonsprosessutstyret i renrommet må installeres på "spesifikke gulv" som forhøyede gulv.Utstyrsfundamentet bør generelt settes på nedre tekniske mesaningulv eller på sementporøs plate;aktivitetene som må demonteres for å installere fundamentet. Strukturen til gulvet etter å ha blitt kappet med en håndholdt elektrisk sag bør forsterkes, og bæreevnen bør ikke være lavere enn den opprinnelige bæreevnen.Når det brukes et uavhengig fundament av en stålrammekonstruksjon, bør den være laget av galvanisert materiale eller rustfritt stål, og den eksponerte overflaten skal være flat og glatt.
⑥.Når installasjonsprosessen av produksjonsprosessutstyr i renrom krever åpning av hull i veggpaneler, undertak og hevede gulv, må ikke boreoperasjonene dele eller forurense overflatene til veggpaneler og himlingspaneler som må beholdes.Etter åpningen av det hevede gulvet når fundamentet ikke kan installeres i tide, bør sikkerhetsrekkverk og fareskilt installeres;etter at produksjonsutstyret er installert, skal gapet rundt hullet forsegles, og utstyret og tetningskomponentene skal være i fleksibel kontakt, og forbindelsen mellom tetningskomponenten og veggplaten skal være tett og fast;tetningsflaten på den ene siden av arbeidsrommet skal være flat og glatt.
Innleggstid: Sep-06-2023