CHIP -utbyttet i brikkeproduksjonsindustrien er nært knyttet til størrelsen og antall luftpartikler som er avsatt på ChIP. God luftstrømorganisasjon kan ta partikler generert fra støvkilder vekk fra rent rom og sikre rensligheten i rentrommet. Det vil si at Air Flow -organisasjonen i Cleanroom spiller en viktig rolle i utbyttet av chipproduksjon. Målene som skal oppnås i utformingen av organisering av rent rom luftstrøm er: å redusere eller eliminere virvelstrømmer i strømningsfeltet for å unngå retensjon av skadelige partikler; for å opprettholde en passende positiv trykkgradient for å forhindre kryssforurensning.
I henhold til Clean Room -prinsippet inkluderer kreftene som virker på partikler massekraft, molekylær kraft, tiltrekning mellom partikler, luftstrømkraft, etc.
Luftstrømkraft: Henviser til styrken av luftstrøm forårsaket av forsyning og returluftstrøm, termisk konveksjon luftstrøm, kunstig agitasjon og andre luftstrøm med en viss strømningshastighet for å bære partikler. For Clean Room Environmental Technology Control er luftstrømstyrke den viktigste faktoren.
Eksperimenter har vist at i luftstrømbevegelse følger partikler luftstrømmen med nesten nøyaktig samme hastighet. Tilstanden til partikler i luft bestemmes av luftstrømfordelingen. Hovedeffektene av luftstrøm på innendørspartikler inkluderer: luftforsyningsluftstrøm (inkludert primær luftstrøm og sekundær luftstrøm), luftstrøm og termisk konveksjon luftstrøm forårsaket av folk som går, og virkningen av luftstrøm på partikler forårsaket av prosessoperasjoner og industrielt utstyr. Ulike luftforsyningsmetoder, hastighetsgrensesnitt, operatører og industrielt utstyr, induserte fenomener osv. I rene rom er alle faktorer som påvirker renslighetsnivået.
1. Påvirkning av luftforsyningsmetode
(1) Luftforsyningshastighet
For å sikre ensartet luftstrøm, må luftforsyningshastigheten i det ensrettede strømmen rent rom være ensartet; Den døde sonen på luftforsyningsflaten må være liten; og trykkfallet i HEPA -filteret må også være ensartet.
Luftforsyningshastigheten er ensartet: det vil si at luftstrømmenes ujevnhet kontrolleres innen ± 20%.
Det er mindre dødt rom på luftforsyningsflaten: ikke bare bør planområdet til HEPA -rammen reduseres, men enda viktigere, modulær FFU bør brukes til å forenkle den overflødige rammen.
For å sikre at luftstrømmen er vertikal og ensrettet, er trykkfallsvalget av filteret også veldig viktig, og det er påkrevd at trykktapet i filteret ikke kan være partisk.
(2) Sammenligning mellom FFU -systemet og aksial flytviftenesystem
FFU er en luftforsyningsenhet med vifte- og HEPA -filter. Luften suges inn av sentrifugalviften av FFU og konverterer det dynamiske trykket til statisk trykk i luftkanalen. Det blåses jevnt ut av HEPA -filter. Luftforsyningstrykket på taket er undertrykk. På denne måten vil ingen støv lekke inn i rent rom når du bytter ut filteret. Eksperimenter har vist at FFU -systemet er overlegen i forhold til det aksiale flyt -viftesystemet når det gjelder uniformitet for luftuttak, luftstrømparallellisme og ventilasjonseffektivitetsindeks. Dette er fordi luftstrømningsparallellen til FFU -systemet er bedre. Bruken av FFU -systemet kan forbedre luftstrømorganisasjonen i rent rom.
(3) Påvirkning av FFUs egen struktur
FFU er hovedsakelig sammensatt av vifter, filtre, luftstrømguider og andre komponenter. HEPA -filteret er den viktigste garantien for rent rom for å oppnå den nødvendige rensligheten som kreves av design. Materialet til filteret vil også påvirke strømningsfeltets ensartethet. Når et grovt filtermateriale eller en strømningsplate legges til filteruttaket, kan uttaket strømningsfeltet enkelt gjøres ensartet.
2. Effekten av hastighetsgrensesnitt med forskjellig renslighet
I det samme rene rommet, mellom arbeidsområdet og det ikke-arbeidende området med vertikal ensrettet strømning, på grunn av forskjellen i lufthastighet ved HEPA-boksen, vil en blandet virveleffekt skje ved grensesnittet, og dette grensesnittet vil bli en turbulent Luftstrømsone. Intensiteten av luftturbulens er spesielt sterk, og partikler kan overføres til overflaten av utstyrsmaskinen og forurense utstyret og skiverne.
3. Innvirkning på personalet og utstyret
Når rent rom er tomt, oppfyller luftstrømningsegenskapene i rommet generelt designkravene. Når utstyret kommer inn i rentrommet, folk flytter og produktene blir transportert, er det uunngåelig hindringer for Air Flow -organisasjonen, for eksempel skarpe punkter som stikker ut fra utstyrsmaskinen. I hjørnene eller kantene vil gassen avlede for å danne et turbulent strømningsområde, og væsken i området vil ikke lett bli ført bort av den innkommende gassen, og dermed forårsake forurensning.
Samtidig vil overflaten av det mekaniske utstyret bli oppvarmet på grunn av kontinuerlig drift, og temperaturgradienten vil forårsake et reflowområde nær maskinen, noe som øker akkumulering av partikler i reflowområdet. Samtidig vil den høye temperaturen lett føre til at partiklene slipper ut. Den doble effekten forsterker det totale vertikale laget. Vanskeligheten med å kontrollere strømmen. Støv fra operatører i rent rom kan lett feste seg til skiver i disse reflowområdene.
4. Påvirkning av returluftgulv
Når motstanden til returluften som går gjennom gulvet er forskjellig, vil trykkforskjellen oppstå, noe som får luft til å strømme i retning av liten motstand, og det vil ikke oppnås ensartet luftstrøm. Den nåværende populære designmetoden er å bruke et forhøyet gulv. Når åpningsforholdet til det forhøyede gulvet er på 10%, kan luftstrømningshastigheten fordeles jevnt i innendørs arbeidshøyde. I tillegg bør streng oppmerksomhet rettes mot rengjøringsarbeid for å redusere forurensningskilden på gulvet.
5. Induksjonsfenomen
Det såkalte induksjonsfenomenet refererer til fenomenet med å generere luftstrøm i motsatt retning av den ensartede strømmen, noe som induserer støv generert i rom eller støv i tilstøtende forurensede områder til motvindsiden, og derved fikk støvet til å forurense skiven. Mulige induserte fenomener inkluderer følgende:
(1) Blind plate
I et rent rom med vertikal enveisstrøm, på grunn av leddene på veggen, er det generelt store blinde paneler som vil gi turbulent strømning og lokal tilbakestrømning.
(2) Lamper
Belysningsarmaturer i rent rom vil ha større innvirkning. Siden varmen fra den lysrør får luftstrømmen til å stige, vil den lysstoffrør ikke bli et turbulent område. Generelt er lampene i rent rom designet i en tårnform for å redusere virkningen av lampene på luftstrømorganisasjonen.
(3) Hull mellom veggene
Når det er hull mellom skillevegger eller tak med forskjellige renslighetskrav, kan støv fra områder med lav renslighetskrav overføres til tilstøtende områder med høye renslighetskrav.
(4) Avstanden mellom det mekaniske utstyret og gulvet eller veggen
Hvis gapet mellom det mekaniske utstyret og gulvet eller veggen er lite, vil rebound -turbulens oppstå. La derfor et gap mellom utstyret og veggen og heve maskinplattformen for å unngå direkte kontakt med bakken.
Post Time: Nov-02-2023