Flisutbyttehastigheten i IC -produksjonsindustrien er nært knyttet til størrelsen og antall luftpartikler som er avsatt på brikken. En god luftstrømorganisasjon kan ta partiklene generert av støvkilden vekk fra det rene rommet for å sikre renslighet i det rene rommet, det vil si luftstrømorganisasjonen i rent rom spiller en viktig rolle i avkastningshastigheten for IC -produksjon. Utformingen av luftstrømorganisasjonen i rent rom må oppnå følgende mål: redusere eller eliminere virvelstrømmen i strømningsfeltet for å unngå oppbevaring av skadelige partikler; Oppretthold en passende positiv trykkgradient for å forhindre kryssforurensning.
Luftstrømkraft
I henhold til Clean Room -prinsippet inkluderer kreftene som virker på partiklene massekraft, molekylær kraft, tiltrekning mellom partikler, luftstrømkraft, etc.
Luftstrømkraft: Henviser til styrken av luftstrømmen forårsaket av levering, returluftstrøm, termisk konveksjon luftstrøm, kunstig omrøring og andre luftstrøm med en viss strømningshastighet for å bære partiklene. For teknisk kontroll av rent rommiljø er luftstrømkraft den viktigste faktoren.
Eksperimenter har vist at partiklene i luftstrømmen i luftstrømmen følger luftstrømbevegelsen med nesten samme hastighet. Partiklene i luften bestemmes av luftstrømfordelingen. Luftstrømmene som påvirker innendørs partikler inkluderer hovedsakelig: luftforsyningsluftstrøm (inkludert primær luftstrøm og sekundær luftstrøm), luftstrøm og termisk konveksjon luftstrøm forårsaket av folk som går, og luftstrømmen forårsaket av prosessdrift og industrielt utstyr. Ulike luftforsyningsmetoder, hastighetsgrensesnitt, operatører og industrielt utstyr og induserte fenomener i rene rom er alle faktorer som påvirker renslighetsnivået.
Faktorer som påvirker luftstrømorganisasjonen
1. Påvirkning av luftforsyningsmetode
(1). Luftforsyningshastighet
For å sikre jevn luftstrøm, må luftforsyningshastigheten være ensartet i et ensrettet rent rom; Den døde sonen på luftforsyningsoverflaten må være liten; og trykkfallet i ULPA må også være ensartet.
Ensartet luftforsyningshastighet: Det vil si at luftstrømmen er kontrollert innen ± 20%.
Mindre død sone på luftforsyningsoverflaten: Ikke bare bør planområdet til ULPA -rammen reduseres, men enda viktigere, modulær FFU bør tas i bruk for å forenkle den overflødige rammen.
For å sikre vertikal ensrettet luftstrøm, er trykkfallsvalget av filteret også veldig viktig, noe som krever at trykktapet i filteret ikke kan avvike.
(2). Sammenligning mellom FFU -system og aksial flytvifte -system
FFU er en luftforsyningsenhet med vifte og et filter (ULPA). Etter at luften er sugd inn av sentrifugalviften av FFU, blir det dynamiske trykket omdannet til statisk trykk i luftkanal og blåses jevnt ut av ULPA. Luftforsyningstrykket på taket er undertrykk, slik at intet støv vil lekke inn i det rene rommet når filteret byttes ut. Experiments have shown that the FFU system is superior to the axial flow fan system in terms of air outlet uniformity, airflow parallelism and ventilation efficiency index. Dette er fordi luftstrømmen i FFU -systemet er bedre. Bruken av FFU -systemet kan gjøre luftstrømmen i det rene rommet bedre organisert.
(3). Påvirkningen av FFUs egen struktur
FFU er hovedsakelig sammensatt av vifter, filtre, luftstrømsveiledningsenheter og andre komponenter. Det ultrahøye effektivitetsfilteret ULPA er den viktigste garantien for om det rene rommet kan oppnå den nødvendige renslighet av designet. Materialet til filteret vil også påvirke strømningsfeltets ensartethet. Når et grovt filtermateriale eller en laminær strømningsplate tilsettes til filterutløpet, kan utløpsstrømningsfeltet enkelt gjøres ensartet.
2. Effekten av forskjellige hastighetsgrensesnitt av renslighet
I det samme rene rommet, mellom arbeidsområdet og ikke-arbeidende område med vertikal ensrettet strømning, på grunn av forskjellen i lufthastighet ved ULPA-utløpet, vil en blandet virveleffekt bli generert ved grensesnittet, og dette grensesnittet vil bli en turbulent Luftstrømsone med spesielt høy luftturbulensintensitet. Partikler kan overføres til overflaten av utstyret og forurense utstyret og skiverne.
3. Effekten av personalet og utstyret
Når det rene rommet er tomt, oppfyller luftstrømningsegenskapene i rommet generelt designkravene. Når utstyret kommer inn i det rene rommet, beveger personell og produkter overføres, vil det uunngåelig være hindringer for Air Flow -organisasjonen. For eksempel, ved de utstående hjørnene eller kantene på utstyret, vil gassen bli avledet for å danne en turbulent sone, og væsken i sonen blir ikke lett ført bort av gassen, og forårsaker dermed forurensning. Samtidig vil overflaten av utstyret varme opp på grunn av kontinuerlig drift, og temperaturgradienten vil forårsake en reflow -sone nær maskinen, noe som vil øke akkumuleringen av partikler i reflowsonen. Samtidig vil den høye temperaturen lett føre til at partiklene slipper ut. Den doble effekten forverrer vanskeligheten med å kontrollere den generelle vertikale laminære renslighet. Støvet fra operatørene i det rene rommet er veldig enkelt å holde seg til skivene i disse reflowsonene.
4. Påvirkning av returluftgulv
Når motstanden mot returluft som passerer gjennom gulvet er forskjellig, vil en trykkforskjell genereres, slik at luften vil strømme i retning av mindre motstand, og det vil ikke oppnås ensartet luftstrøm. Den nåværende populære designmetoden er å bruke forhøyede gulv. Når åpningshastigheten for forhøyede gulv er 10%, kan luftstrømshastigheten i arbeidshøyden til rommet fordeles jevnt. I tillegg bør streng oppmerksomhet rettes mot rengjøringsarbeid for å redusere forurensningskilden på gulvet.
5. Induksjonsfenomen
The so-called induction phenomenon refers to the phenomenon that the airflow in the opposite direction of the uniform flow is generated, and the dust generated in the room or the dust in the adjacent contaminated area is induced to the upwind side, so that the dust kan forurense brikken. Følgende er de mulige induksjonsfenomenene:
(1). Blind plate
I et rent rom med vertikal ensrettet strømning, på grunn av leddene på veggen, er det generelt store blinde plater som vil generere turbulens i den lokale returstrømmen.
(2). Lamper
Belysningsarmaturene i det rene rommet vil ha større innvirkning. Siden varmen fra lysstofflamper får luftstrømmen til å stige, vil det ikke være noe turbulent område under lysrør. Generelt er lampene i det rene rommet designet i en tårnform for å redusere virkningen av lampene på luftstrømorganisasjonen.
(3.) Hull mellom veggene
Når det er hull mellom partisjoner med forskjellige renslighetsnivåer eller mellom partisjoner og tak, kan støv fra området med lav renslighetskrav overføres til det tilstøtende området med høye renslighetskrav.
(4). Avstand mellom maskinen og gulvet eller veggen
Hvis gapet mellom maskinen og gulvet eller veggen er veldig lite, vil det forårsake rebound -turbulens. La derfor et gap mellom utstyret og veggen og løft maskinen for å unngå å la maskinen berøre bakken direkte.
Post Time: Feb-05-2025