Et relativt komplett automatisk kontrollsystem/-enhet bør installeres i renrommet, noe som er svært gunstig for å sikre normal produksjon i renrommet og forbedre drifts- og administrasjonsnivået, men byggeinvesteringene må økes.
Ulike typer renrom inkluderer overvåking av luftrenhet, temperatur og fuktighet, trykkforskjell, høyrens gass og rent vann, gassrenhet og renvannskvalitet, og andre krav og tekniske parametere er forskjellige, og skalaen og arealet av renrom i ulike bransjer er også svært forskjellig. Derfor bør funksjonen til det automatiske kontrollsystemet/enheten bestemmes i henhold til de spesifikke forholdene i renromsprosjektet, og den bør utformes i ulike typer overvåkings- og kontrollsystemer. Renrommet er utformet som et distribuert datastyrt kontroll- og overvåkingssystem.
Det automatiske kontroll- og overvåkingssystemet i det moderne høyteknologiske renrommet, representert av mikroelektronikk-renrommet, er et omfattende system som integrerer elektrisk teknologi, automatisk instrumentering, datateknologi og nettverkskommunikasjonsteknologi. Bare ved å bruke ulike teknologier riktig og rimelig, kan systemet oppfylle de nødvendige kontroll- og overvåkingskravene.
For å sikre de strenge kravene til elektronikkrensrom for kontroll av produksjonsmiljøet, bør kontrollsystemene for det offentlige strømnettet, rensende klimaanlegget osv. først og fremst ha høy pålitelighet.
For det andre, for ulikt kontrollutstyr og instrumenter, er det nødvendig å være åpent for å oppfylle kravene til å realisere nettverkskontroll av hele anlegget. Produksjonsteknologien for elektroniske produkter utvikler seg raskt, og utformingen av det automatiske kontrollsystemet for elektroniske renrom bør være fleksibelt og utvidbart for å møte endringene i kontrollkravene. Den distribuerte nettverksstrukturen har et godt menneske-maskin-interaksjonsgrensesnitt, som bedre kan realisere deteksjon, overvåking og kontroll av produksjonsmiljøet og diverse offentlige kraftutstyr, og kan brukes til renromskontroll ved hjelp av datateknologi. Når parameterindekskravene for renrommet ikke er veldig strenge, kan konvensjonelle instrumenter også brukes til kontroll. Men uansett hvilken metode som brukes, bør kontrollnøyaktigheten oppfylle produksjonskravene, og kan oppnå stabil og pålitelig drift, og kan realisere energisparing og utslippsreduksjon.
Publisert: 28. august 2023