Kildene til partikler er delt inn i uorganiske partikler, organiske partikler og levende partikler. For menneskekroppen er det lett å forårsake luftveis- og lungesykdommer, og det kan også forårsake allergier og virusinfeksjoner. For silisiumbrikker vil feste av støvpartikler forårsake deformasjon eller kortslutning av integrerte kretskretser, noe som gjør at brikkene mister sine driftsfunksjoner, så kontroll av mikroforurensningskilder har blitt en viktig del av renromsstyring.
Viktigheten av miljøkontroll i renrom ligger i å sikre at miljøforholdene i produksjonsprosessen oppfyller spesifikke renhetsstandarder, noe som er avgjørende for mange bransjer. Følgende er viktigheten og den spesifikke rollen til miljøkontroll i renrom:
1. Sørg for produktkvalitet
1.1 Forhindre forurensning: I industrier som halvledere, legemidler og medisinsk utstyr kan ørsmå partikler forårsake produktfeil eller -feil. Ved å kontrollere luftkvaliteten og partikkelkonsentrasjonen i renrom kan disse forurensningene effektivt forhindres i å påvirke produktet.
I tillegg til den innledende investeringen i maskinvare og utstyr, krever vedlikehold og kontroll av renromsrenhet også et godt "programvare"-styringssystem for å opprettholde god renslighet. Operatørene har størst innvirkning på renrommets renslighet. Når operatørene går inn i renrommet, øker støvmengden betydelig. Når det er folk som går frem og tilbake, forringes rensligheten umiddelbart. Det kan sees at hovedårsaken til forringelsen av rensligheten er menneskelige faktorer.
1.2 Konsistens: Renromsmiljøet bidrar til å opprettholde konsistensen og repeterbarheten i produksjonsprosessen, og sikrer dermed stabil produktkvalitet.
Når det gjelder glassunderlaget, vil vedheft av støvpartikler forårsake riper på glassunderlaget, kortslutninger og bobler, og annen dårlig prosesskvalitet, noe som resulterer i skraping. Derfor har kontroll av forurensningskilder blitt en viktig del av renromsstyring.
Ekstern støvinntrengning og forebygging
Renrommet bør opprettholde riktig positivt trykk (>0,5 mm/Hg), gjøre en god jobb i det innledende byggeprosjektet for å sikre at det ikke er noen luftlekkasje, og rengjøre og tørke av personell, utstyr, råvarer, verktøy, forbruksvarer osv. før de bringes inn i renrommet. Samtidig må rengjøringsverktøy plasseres riktig og byttes ut eller rengjøres regelmessig.
Støvutvikling og -forebygging i renrom
Hensiktsmessig valg av renromsmaterialer som skillevegger og gulv, kontroll av støvgenerering i prosessutstyr, dvs. regelmessig vedlikehold og rengjøring, produksjonspersonell har ikke lov til å gå rundt eller foreta store kroppsbevegelser på sine lokasjoner, og forebyggende tiltak som å legge klebrige matter iverksettes på spesielle stasjoner.
2. Forbedre produksjonseffektiviteten
2.1 Reduser skrapraten: Ved å redusere urenheter og forurensende stoffer i produksjonsprosessen kan skrapraten reduseres, utbyttet økes og dermed produksjonseffektiviteten forbedres.
For eksempel: Det er 600 trinn i waferproduksjon. Hvis utbyttet av hver prosess er 99 %, hva er det totale utbyttet av 600 prosessprosedyrer? Svar: 0,99600 = 0,24 %.
For å gjøre en prosess økonomisk gjennomførbar, hvor høyt må utbyttet fra hvert trinn være?
•0,999600 = 54,8 %
•0,9999600=94,2 %
Hvert prosessutbytte må nå mer enn 99,99 % for å oppnå et endelig prosessutbytte på over 90 %, og forurensning av mikropartikler vil direkte påvirke prosessutbyttet.
2.2 Få fart på prosessen: Å jobbe i et rent miljø kan redusere unødvendig rengjøring og omarbeidingstid, noe som gjør produksjonsprosessen mer effektiv.
3. Sikre personellets helse og sikkerhet
3.1 Arbeidshelse: For noen produksjonsprosesser som kan frigjøre skadelige stoffer, kan rene rom forhindre at skadelige stoffer sprer seg til det ytre miljøet og beskytte arbeidernes helse. Siden menneskehetens utvikling har teknologi, utstyr og kunnskap blitt bedre, men luftkvaliteten har blitt dårligere. En person inhalerer omtrent 270 000 M3 luft i løpet av livet, og tilbringer 70 % til 90 % av tiden sin innendørs. Små partikler inhaleres av menneskekroppen og avsettes i luftveiene. Partikler på 5 til 30 µm avsettes i nesesvelget, partikler på 1 til 5 µm avsettes i luftrøret og bronkiene, og partikler under 1 µm avsettes i alveolveggen.
Personer som oppholder seg i et rom med utilstrekkelig friskluftmengde over lengre tid er utsatt for "innesyndrom", med symptomer som hodepine, tetthet i brystet og tretthet, og er også utsatt for sykdommer i luftveiene og nervesystemet. Mitt lands nasjonale standard GB/T18883-2002 fastsetter at friskluftmengden ikke skal være mindre enn 30 m3/t per person.
Friskluftvolumet i renrommet bør ta maksimalverdien av følgende to elementer:
a. Summen av luftvolumet som kreves for å kompensere for innendørs avtrekksvolum og for å sikre den positive trykkverdien innendørs.
b. Sørg for at renromspersonalet trenger nok friskluft. I henhold til spesifikasjonene for renromsdesign er friskluftvolumet per person per time ikke mindre enn 40 m3.
3.2 Sikker produksjon: Ved å kontrollere miljøparametere som fuktighet og temperatur, kan sikkerhetsfarer som elektrostatisk utladning unngås for å sikre produksjonssikkerhet.
4. Oppfyll regulatoriske og standardiserte krav
4.1 Bransjestandarder: Mange bransjer har strenge renholdsstandarder (som ISO 14644), og produksjonen må utføres i renrom av spesifikke kvaliteter. Overholdelse av disse standardene er ikke bare et regulatorisk krav, men også en refleksjon av bedriftenes konkurranseevne.
For ren arbeidsbenk, rent skur, laminærstrømningsoverføringsvindu, viftefilterenhet FFU, ren garderobe, laminærstrømningshette, veiehette, ren skjerm, selvrensende, luftdusj-serieprodukter, er det nødvendig å standardisere metodene for renhetstesting av eksisterende produkter for å forbedre produktenes pålitelighet.
4.2 Sertifisering og revisjon: Bestå revisjonen til tredjeparts sertifiseringsbyråer og oppnå relevante sertifiseringer (som GMP, ISO 9001, osv.) for å styrke kundenes tillit og utvide markedstilgangen.
5. Fremme teknologisk innovasjon
5.1 FoU-støtte: Rene rom gir et ideelt eksperimentelt miljø for høyteknologisk produktutvikling og bidrar til å akselerere utviklingen av nye produkter.
5.2 Prosessoptimalisering: Under et strengt kontrollert miljø er det enklere å observere og analysere effekten av prosessendringer på produktets ytelse, og dermed fremme prosessforbedring.
6. Forbedre merkevareimaget
6.1 Kvalitetssikring: Å ha rene produksjonsanlegg av høy standard kan forbedre merkevarens image og øke kundenes tillit til produktkvaliteten.
6.2 Markedskonkurranse: Produkter som kan produseres i et rent miljø blir ofte sett på som et symbol på høy kvalitet og høy pålitelighet, noe som hjelper bedrifter med å skille seg ut i den harde markedskonkurransen.
7. Reduser reparasjons- og vedlikeholdskostnader
7.1 Forleng utstyrets levetid: Produksjonsutstyr og verktøy som opererer under rene forhold er mindre utsatt for korrosjon og slitasje, noe som forlenger levetiden og reduserer vedlikeholdsfrekvens og -kostnader.
7.2 Reduser energiforbruket: Ved å optimalisere design og administrasjon av renrom, forbedre energieffektiviteten, redusere energiforbruket og driftskostnadene.
Fire prinsipper for drift av renrom:
1. Ikke ta med inn:
Rammen til HEPA-filteret kan ikke lekke.
Det planlagte trykket må opprettholdes innendørs.
Operatører må skifte klær og gå inn i renrommet etter luftdusj.
Alt materiale, utstyr og verktøy må rengjøres før det kan tas inn.
2. Ikke generer:
Folk må bruke støvfrie klær.
Reduser unødvendige handlinger.
Ikke bruk materialer som lett genererer støv.
Unødvendige gjenstander kan ikke tas med inn.
3. Ikke akkumuler:
Det skal ikke være noen hjørner og maskinperiferier som er vanskelige å rengjøre eller rengjøre.
Prøv å minimere eksponerte luftkanaler, vannrør osv. innendørs.
Rengjøring må utføres i henhold til standardmetoder og spesifiserte tider.
4. Fjern umiddelbart:
Øk antall luftskifter.
Eksos nær den støvgenererende delen.
Forbedre luftstrømformen for å hindre at støv fester seg til produktet.
Kort sagt, miljøkontroll i renrom er av stor betydning for å sikre produktkvalitet, forbedre produksjonseffektiviteten, beskytte personells helse og sikkerhet, oppfylle myndighetskrav, fremme teknologisk innovasjon og forbedre merkevareimage. Bedrifter bør ta fullt hensyn til disse faktorene når de bygger og vedlikeholder renrom for å sikre at renrommene kan oppfylle behovene til produksjon og FoU.
Publisert: 12. februar 2025