Kildene til partikler er delt inn i uorganiske partikler, organiske partikler og levende partikler. For menneskekroppen er det lett å forårsake luftveis- og lungesykdommer, og det kan også forårsake allergier og virusinfeksjoner; for silisiumbrikker vil festing av støvpartikler forårsake deformasjon eller kortslutning av integrerte kretskretser, noe som gjør at brikkene mister driftsfunksjonene, så kontrollen av mikroforurensningskilder har blitt en viktig del av renromsstyringen.
Viktigheten av miljøkontroll i rene rom ligger i å sikre at miljøforholdene i produksjonsprosessen oppfyller spesifikke renhetsstandarder, noe som er avgjørende for mange bransjer. Følgende er viktigheten og den spesifikke rollen til miljøkontroll i renrom:
1. Sikre produktkvalitet
1.1 Forhindre forurensning: I bransjer som halvledere, legemidler og medisinsk utstyr, kan små partikkelforurensninger forårsake produktdefekter eller feil. Ved å kontrollere luftkvaliteten og partikkelkonsentrasjonen i renrommet, kan disse forurensningene effektivt forhindres i å påvirke produktet.
I tillegg til den første investeringen i maskinvareutstyr, krever vedlikehold og kontroll av renromsrenslighet også et godt "programvare"-styringssystem for å opprettholde god renslighet. Fra dataresultatene i figuren ovenfor kan det ses at operatørene har størst innvirkning på rensligheten i renrommet. Når operatørene går inn i renrommet, øker støvet betydelig. Når det er folk som går frem og tilbake, blir rensligheten umiddelbart dårligere. Det kan sees at hovedårsaken til forringelsen av renslighet er menneskelige faktorer.
1.2 Konsistens: Renromsmiljøet bidrar til å opprettholde konsistensen og repeterbarheten til produksjonsprosessen, og sikrer dermed stabil produktkvalitet.
Når det gjelder glasssubstratet, vil vedheftingen av støvpartikler forårsake riper på glasssubstratet, kortslutninger og bobler og annen dårlig prosesskvalitet, noe som resulterer i skraping. Derfor har kontroll av forurensningskilder blitt en viktig del av renromsforvaltningen.
Eksternt støvinntrenging og forebygging
Renrommet bør opprettholde riktig overtrykk (>0,5 mm/Hg), gjøre en god jobb i det foreløpige byggeprosjektet for å sikre at det ikke er luftlekkasje, og før man bringer personell, utstyr, råvarer, verktøy, forbruksvarer, etc. inn i det rene rommet, må de rengjøres og tørkes av osv. Støvforebyggende tiltak. Samtidig må rengjøringsverktøy plasseres riktig og skiftes ut eller rengjøres regelmessig.
Støvgenerering og forebygging i rene rom
Hensiktsmessig valg av renromsmaterialer som skilleplater og gulv, kontroll av prosessutstyr, dvs. regelmessig vedlikehold og rengjøring, produksjonspersonell har ikke lov til å gå rundt eller foreta store kroppsbevegelser på sine lokaliteter, og forebyggende tiltak som å legge på klebrige matter er tatt på spesielle stasjoner.
2. Forbedre produksjonseffektiviteten
2.1 Reduser skrotraten: Ved å redusere urenheter og forurensninger i produksjonsprosessen kan skrotraten reduseres, utbyttegraden kan økes, og dermed produksjonseffektiviteten kan forbedres.
For eksempel: Det er 600 trinn i waferproduksjon. Hvis utbyttet av hver prosess er 99 %, hva er det totale utbyttet av 600 prosessprosedyrer? Svar: 0,99^600 = 0,24%.
For å gjøre en prosess økonomisk gjennomførbar, hvor høyt må utbyttet av hvert trinn være?
•0,999^600= 54,8 %
•0,9999^600=94,2 %
Hvert prosessutbytte må nå mer enn 99,99 % for å møte det endelige prosessutbyttet på mer enn 90 %, og forurensning av mikropartikler vil direkte påvirke prosessutbyttet.
2.2 Fremskynde prosessen: Arbeid i et rent miljø kan redusere unødvendig rengjøring og omarbeidstid, noe som gjør produksjonsprosessen mer effektiv.
3. Sikre helse og sikkerhet for personell
3.1 Arbeidshelse: For enkelte produksjonsprosesser som kan frigjøre skadelige stoffer, kan renrom hindre skadelige stoffer i å spre seg til det ytre miljø og beskytte arbeidstakernes helse. Siden menneskehetens utvikling har teknologi, utstyr og kunnskap blitt bedre, men luftkvaliteten har gått tilbake. En person inhalerer omtrent 270 000 M3 luft i løpet av livet, og tilbringer 70 % til 90 % av tiden innendørs. Små partikler inhaleres av menneskekroppen og avsettes i luftveiene. Partikler på 5 til 30um avsettes i nasopharynx, partikler på 1 til 5um avsettes i luftrøret og bronkiene, og partikler under 1um avsettes i alveolveggen.
Personer som oppholder seg i et rom med utilstrekkelig friskluftsvolum over lengre tid er utsatt for "innendørssyndrom", med symptomer som hodepine, tetthet i brystet og tretthet, og er også utsatt for sykdommer i luftveiene og nervesystemet. mitt lands nasjonale standard GB/T18883-2002 fastsetter at friskluftvolumet ikke skal være mindre enn 30m3/t. person.
Friskluftvolumet i renrommet skal ha maksimalverdien av følgende to elementer:
en. Summen av luftvolumet som kreves for å kompensere for innendørs eksosvolumet og for å sikre innendørs overtrykksverdi.
b. Sørg for frisk luft som kreves av renrompersonalet. I henhold til designspesifikasjonene for renrom er friskluftvolumet per person per time ikke mindre enn 40m3.
3.2 Sikker produksjon: Ved å kontrollere miljøparametere som fuktighet og temperatur, kan sikkerhetsfarer som elektrostatisk utladning unngås for å sikre produksjonssikkerhet.
4. Oppfyll regulatoriske og standardkrav
4.1 Bransjestandarder: Mange bransjer har strenge renhetsstandarder (som ISO 14644), og produksjonen må utføres i renrom av spesifikke kvaliteter. Overholdelse av disse standardene er ikke bare et regulatorisk krav, men også en refleksjon av bedriftens konkurranseevne.
For ren arbeidsbenk, ren skur, laminærstrømsoverføringsvindu, viftefilterenhet FFU, ren garderobe, laminærstrømshette, veiehette, ren skjerm, selvrenser, luftdusjserieprodukter, er det nødvendig å standardisere metodene for renhetstesting av eksisterende produkter for å forbedre påliteligheten til produktene.
4.2 Sertifisering og revisjon: Bestå revisjonen av tredjeparts sertifiseringsbyråer og oppnå relevante sertifiseringer (som GMP, ISO 9001, etc.) for å øke kundenes tillit og utvide markedstilgangen.
5. Fremme teknologisk innovasjon
5.1 FoU-støtte: Rene rom gir et ideelt eksperimentelt miljø for høyteknologisk produktutvikling og bidrar til å akselerere utviklingen av nye produkter.
5.2 Prosessoptimalisering: Under et strengt kontrollert miljø er det lettere å observere og analysere effekten av prosessendringer på produktytelse, og fremmer dermed prosessforbedring.
6. Forbedre merkevareimage
6.1 Kvalitetssikring: Å ha rene produksjonsanlegg av høy standard kan forbedre merkevarebildet og øke kundenes tillit til produktkvalitet.
6.2 Markedskonkurranseevne: Produkter som kan produseres i et rent miljø blir ofte sett på som et symbol på høy kvalitet og høy pålitelighet, noe som hjelper bedrifter til å skille seg ut i den harde markedskonkurransen.
7. Reduser reparasjons- og vedlikeholdskostnader
7.1 Forleng utstyrets levetid: Produksjonsutstyr og verktøy som opererer under rene forhold er mindre utsatt for korrosjon og slitasje, og forlenger dermed levetiden og reduserer vedlikeholdsfrekvens og -kostnader.
7.2 Reduser energiforbruket: Ved å optimalisere utformingen og styringen av rene rom, forbedre energieffektiviteten, redusere energiforbruket og driftskostnadene.
Fire prinsipper for drift av rent rom:
1. Ikke ta med:
Rammen til hepa-filteret kan ikke lekke.
Det beregnede trykket må opprettholdes innendørs.
Operatører må skifte klær og gå inn i det rene rommet etter luftdusj.
Alle materialer, utstyr og verktøy som brukes må rengjøres før de kan bringes inn.
2. Ikke generer:
Personell skal ha støvfrie klær.
Reduser unødvendige handlinger.
Ikke bruk materialer som er lette å generere støv.
Unødvendige gjenstander kan ikke tas inn.
3. Ikke akkumuler:
Det skal ikke være hjørner og maskinperiferier som er vanskelige å rengjøre eller rengjøre.
Prøv å minimere de utsatte luftkanalene, vannrørene osv. innendørs.
Rengjøring skal utføres i henhold til standardmetoder og angitte tider.
4. Fjern umiddelbart:
Øk antall luftskift.
Eksos nær den støvgenererende delen.
Forbedre luftstrømformen for å hindre at støv fester seg til produktet.
Kort sagt er miljøkontroll i rene rom av stor betydning for å sikre produktkvalitet, forbedre produksjonseffektiviteten, beskytte personells helse og sikkerhet, oppfylle regulatoriske krav, fremme teknologisk innovasjon og styrke merkevareimage. Bedrifter bør fullt ut vurdere disse faktorene når de bygger og vedlikeholder rene rom for å sikre at rene rom kan møte behovene til produksjon og FoU.
Innleggstid: 12-november 2024