1. Innenfor renrom bør det settes opp ulike typer kjemikalielagrings- og distribusjonsrom basert på kravene til produktets produksjonsprosess og kjemikaliets fysiske og kjemiske egenskaper. Rørledninger bør brukes til å forsyne nødvendige kjemikalier til produksjonsutstyret. Kjemikalielagrings- og distribusjonsrom i renrom er vanligvis plassert i et tilleggsproduksjonsområde, vanligvis i første etasje i en en- eller fleretasjes bygning, nær en yttervegg. Kjemikalier bør lagres separat i henhold til deres fysiske og kjemiske egenskaper. Inkompatible kjemikalier bør plasseres i separate kjemikalielagrings- og distribusjonsrom, atskilt med solide skillevegger. Farlige kjemikalier bør lagres i separate lagrings- eller distribusjonsrom med en brannmotstandsklasse på minst 2,0 timer mellom tilstøtende rom. Disse rommene bør plasseres i et rom i første etasje i produksjonsbygningen, nær en yttervegg.
2. Renrom i elektronikkindustrien har ofte lagrings- og distribusjonsrom for syrer og alkalier, samt for brennbare løsemidler. Lagrings- og distribusjonsrom for syre inneholder vanligvis lagrings- og distribusjonssystemer for svovelsyre, fosforsyre, flussyre og saltsyre. Lagrings- og distribusjonsrom for alkalier inneholder vanligvis lagrings- og distribusjonssystemer for natriumhydroksid, hydroksidkake, ammoniumhydroksid og tetrametylammoniumhydroksid. Lagrings- og distribusjonsrom for brennbare løsemidler inneholder vanligvis lagrings- og distribusjonssystemer for organiske løsemidler som isopropylalkohol (IPA). Renrom i fabrikker for fabrikasjon av integrerte kretsskiver har også lagrings- og distribusjonsrom for poleringsslam. Lagrings- og distribusjonsrom for kjemikalier er vanligvis plassert i tilleggsproduksjons- eller støtteområder i nærheten av eller ved siden av rene produksjonsområder, vanligvis i første etasje med direkte tilgang til utendørsområder.
3. Kjemikalielagrings- og distribusjonsrom er utstyrt med lagerfat eller -tanker med varierende kapasitet basert på type, mengde og bruksegenskaper til kjemikaliene som kreves for produktproduksjon. I henhold til standarder og forskrifter skal kjemikalier lagres separat og klassifiseres. Kapasiteten til fatene eller tankene som brukes, skal være tilstrekkelig for syv dagers forbruk av kjemikaliene. Daglige fat eller tanker skal også være tilgjengelige, med en kapasitet som er tilstrekkelig til å dekke 24-timers forbruket av kjemikalier som kreves for produktproduksjon. Lagrings- og distribusjonsrom for brennbare løsemidler og oksiderende kjemikalier skal være separate og atskilt fra tilstøtende rom med solide brannsikre vegger med en brannmotstandsgrad på 3,0 timer. Hvis de ligger i første etasje i en bygning med flere etasjer, skal de være atskilt fra andre områder med ikke-brennbare gulv med en brannmotstandsgrad på minst 1,5 timer. Det sentraliserte kontrollrommet for kjemikaliesikkerhets- og overvåkingssystemet i renrommet skal være plassert i et separat rom.
4. Høyden på kjemikalielagrings- og distribusjonsrom i renrom bør bestemmes basert på krav til utstyr og røroppsett, og bør generelt ikke være mindre enn 4,5 meter. Hvis det ligger innenfor det ekstra produksjonsområdet til renrommet, bør høyden på kjemikalielagrings- og distribusjonsrommet være i samsvar med bygningshøyden.
Publisert: 1. august 2025