Brannvernanlegg er en viktig del av renrommet. Det er viktig ikke bare fordi prosessutstyret og byggeprosjektene er dyre, men også fordi renrom er relativt lukkede bygninger, og noen er til og med verksteder uten vinduer. Passasjene i renrommet er smale og kronglete, noe som gjør det vanskelig å evakuere personell og lære opp brann. For å sikre sikkerheten til menneskers liv og eiendom, bør brannvernpolitikken "forebygging først, kombinert forebygging og brann" implementeres i designet. I tillegg til å ta effektive brannforebyggende tiltak i designet av renrommet, er det også satt opp nødvendige brannslokkingsanlegg. Produksjonsegenskapene til renrom er:
(1) Det finnes mye presisjonsutstyr og -instrumenter, og det brukes en rekke brannfarlige, eksplosive, etsende og giftige gasser og væsker. Brannfaren for noen produksjonsdeler tilhører kategori C (som oksidasjonsdiffusjon, fotolitografi, ionimplantasjon, trykking og emballasje, etc.), og noen tilhører kategori A (som enkeltkrystalltrekking, epitaksi, kjemisk dampavsetning, etc.).
(2) Renrommet er svært lufttett. Når det først bryter ut brann, vil det være vanskelig å evakuere personell og slukke brannen.
(3) Byggekostnadene for renrom er høye, og utstyret og instrumentene er dyre. Når det først bryter ut en brann, vil de økonomiske tapene være enorme.
Basert på ovennevnte egenskaper har renrom svært høye krav til brannvern. I tillegg til brannvern og vannforsyningssystem bør det også installeres faste brannslukningsanordninger, spesielt verdifullt utstyr og instrumenter i renrom må bestemmes nøye.
Publisert: 11. april 2024