Brannvernanlegg er en viktig del av renrommet. Dens betydning er ikke bare fordi prosessutstyret og byggeprosjektene er dyre, men også fordi rene rom er relativt lukkede bygninger, og noen er til og med vindusløse verksteder. Renromsgangene er trange og kronglete, noe som gjør det vanskelig å evakuere personell og undervise i brann. For å sikre sikkerheten til menneskers liv og eiendom, bør brannvernpolitikken "forebygging først, kombinere forebygging og brann" implementeres i designet. I tillegg til å ta effektive brannforebyggende tiltak i utformingen av renrommet, er det i tillegg satt opp nødvendige slokkeanlegg. Produksjonsegenskapene til rene rom er:
(1) Det er mange presisjonsutstyr og -instrumenter, og en rekke brennbare, eksplosive, etsende og giftige gasser og væsker brukes. Brannfaren for noen produksjonsdeler tilhører kategori C (som oksidasjonsdiffusjon, fotolitografi, ioneimplantasjon, trykking og pakking, etc.), og noen tilhører kategori A (som enkeltkrystalltrekking, epitaksi, kjemisk dampavsetning, etc.) .).
(2) Renrommet er svært lufttett. Når det først bryter ut brann, vil det være vanskelig å evakuere personell og slukke brannen.
(3) Byggekostnadene for rene rom er høye og utstyret og instrumentene er dyre. Når en brann først bryter ut, vil de økonomiske tapene være enorme.
Basert på ovennevnte egenskaper har rene rom svært høye krav til brannsikring. I tillegg til brannvern- og vannforsyningssystemet, bør det også installeres faste brannslukningsanordninger, spesielt verdifullt utstyr og instrumenter i renrom må bestemmes nøye.
Innleggstid: 11-apr-2024