I tillegg til streng partikkelkontroll har elektroniske renrom representert av chipproduksjonsverksteder, støvfrie verksteder for integrerte kretser og diskproduksjonsverksteder også strengere krav til temperatur- og fuktighetskontroll, belysning og mikrosjokk. Fjern strengt virkningen av statisk elektrisitet på produksjonsprodukter, slik at miljøet kan oppfylle produksjonsprosesskravene til elektroniske produkter i et rent miljø.
Temperaturen og fuktigheten i det elektroniske renrommet bør bestemmes i henhold til kravene til produksjonsprosessen. Når det ikke er spesifikke krav til produksjonsprosessen, kan temperaturen være 20–26 °C og den relative fuktigheten er 30–70 %. Temperaturen i personalets renrom og oppholdsrom kan være 16–28 ℃. I henhold til den kinesiske nasjonale standarden GB-50073, som er i samsvar med internasjonale ISO-standarder, er renhetsnivået for denne typen renrom 1–9. Blant dem er klasse 1–5, luftstrømningsmønsteret enveis strømning eller blandet strømning; klasse 6 luftstrømningsmønster er ikke-ensveis strømning og luftskiftet er 50–60 ganger/t; klasse 7 luftstrømningstype er ikke-ensveis strømning og luftskiftet er 15–25 ganger/t; klasse 8–9 luftstrømningstype er ikke-ensveis strømning, luftskiftet er 10–15 ganger/t.
I henhold til gjeldende spesifikasjoner skal støynivået i elektroniske renrom i klasse 10 000 ikke være høyere enn 65 dB(A).
1. Den fulle andelen vertikal strømningsrens i elektroniske renrom bør ikke være mindre enn 60 %, og den horisontale ensrettede strømningsrens i renrommet bør ikke være mindre enn 40 %, ellers vil det være en delvis ensrettet strømning.
2. Den statiske trykkforskjellen mellom elektronisk renrom og utendørsområder bør ikke være mindre enn 10 Pa, og den statiske trykkforskjellen mellom rene områder og ikke-rene områder med ulik luftrenhet bør ikke være mindre enn 5 Pa.
3. Mengden friskluft i et elektronisk renrom i klasse 10000 bør ta verdien av følgende to elementer.
4. Kompenser summen av innendørs avtrekksluftvolum og friskluftvolum som kreves for å opprettholde det positive trykket innendørs.
5. Sørg for at mengden friskluft som tilføres renrommet per person per time ikke er mindre enn 40 kvadratmeter.
Publisert: 08.04.2024