Installasjon av prosessutstyr i renrom bør være basert på renrommets design og funksjon. Følgende detaljer vil bli introdusert.
1. Metode for utstyrsinstallasjon: Den ideelle metoden er å lukke renrommet under utstyrsinstallasjonsperioden, og ha en dør som kan tilpasses utstyrets synsvinkel, eller reservere en passasje slik at nytt utstyr kan passere gjennom og inn i renrommet. Dette for å forhindre at renrommet nær installasjonsperioden blir forurenset. Det bør iverksettes beskyttelsestiltak for å sikre at renrommet fortsatt oppfyller sine renhetskrav og det påfølgende arbeidet som kreves.
2. Hvis arbeidet i renrommet ikke kan stoppes under hver installasjonsperiode, eller hvis det finnes konstruksjoner som må demonteres, må renrommet som er i drift være effektivt isolert fra arbeidsområdet: midlertidige isolasjonsvegger eller skillevegger kan brukes. For å ikke hindre installasjonsarbeidet, bør det være nok plass rundt utstyret. Hvis forholdene tillater det, kan tilgang til isolasjonsområdet være gjennom servicekanaler eller andre ikke-kritiske områder: hvis dette ikke er mulig, bør det iverksettes tiltak for å minimere forurensningspåvirkningen forårsaket av installasjonsarbeidet. Isolasjonsområdet bør opprettholde likt trykk eller negativt trykk. Tilførselen av ren luft bør stenges av i høyhusområdet for å unngå positivt trykk på omkringliggende renrom. Hvis tilgang til isolasjonsområdet kun er gjennom et tilstøtende renrom, bør det brukes klebrige pads for å fjerne smuss som bæres med seg på skoene.
3. Etter at man har kommet inn i høydeområdet, kan engangsstøvler eller -sko og arbeidsklær i ett stykke brukes for å unngå å forurense renrommet. Disse engangsartiklene bør fjernes før man forlater karanteneområdet. Metoder for å overvåke området rundt isolasjonsområdet under installasjonsprosessen av utstyr bør utvikles, og hyppigheten av overvåkingen bør bestemmes for å sikre at eventuell forurensning som kan lekke inn i det tilstøtende renrommet oppdages. Etter at isolasjonstiltakene er satt opp, kan ulike nødvendige offentlige servicefasiliteter etableres, for eksempel strøm-, vann-, gass-, støvsuger-, trykkluft- og avløpsrør. Det bør legges vekt på å kontrollere og isolere røyk og rusk som genereres av operasjonen så mye som mulig for å unngå utilsiktet spredning til omkringliggende renrom. Det bør også legge til rette for effektiv rengjøring før isolasjonsbarrieren fjernes. Etter at de offentlige servicefasilitetene oppfyller brukskravene, bør hele isolasjonsområdet rengjøres og dekontamineres i henhold til de foreskrevne rengjøringsprosedyrene. Alle overflater, inkludert alle vegger, utstyr (fast og bevegelig) og gulv, bør støvsuges, tørkes og moppes, med spesiell oppmerksomhet på rengjøring av områder bak utstyrsvern og under utstyr.
4. En innledende test av utstyrets ytelse kan utføres basert på de faktiske forholdene i renrommet og det installerte utstyret, men påfølgende aksepttesting bør utføres når vilkårene for rent miljø er fullt oppfylt. Avhengig av forholdene på installasjonsstedet, kan du begynne å forsiktig demontere isolasjonsveggen. Hvis renlufttilførselen er slått av, start den på nytt. Tidspunktet for denne arbeidsfasen bør velges nøye for å minimere forstyrrelser av renrommets normale arbeid. På dette tidspunktet kan det være nødvendig å måle om konsentrasjonen av luftbårne partikler oppfyller de spesifiserte kravene.
5. Rengjøring og klargjøring av innsiden av utstyret og viktige prosesskamre bør utføres under normale renromsforhold. Alle innvendige kamre og alle overflater som kommer i kontakt med produktet eller er involvert i produkttransport, må tørkes av til nødvendig renhetsnivå. Rengjøringssekvensen for utstyret bør være ovenfra og ned. Hvis partikler spres, vil større partikler falle til bunnen av utstyret eller bakken på grunn av tyngdekraften. Rengjør den ytre overflaten av utstyret ovenfra og ned. Om nødvendig bør overflatepartikkeldeteksjon utføres i områder der produkt- eller produksjonsprosesskravene er kritiske.
6. Med tanke på egenskapene til renrom, spesielt det store området, høye investeringer, høy produksjon og svært strenge renslighetskrav for høyteknologiske renrom, er installasjonen av produksjonsprosessutstyr i denne typen renrom mer lik den i vanlige renrom. Det er ingen spesifikke krav. For dette formålet har den nasjonale standarden "Code for Clean Room Construction and Quality Acceptance" som er utgitt, gitt noen bestemmelser for installasjon av produksjonsprosessutstyr i renrom, hovedsakelig inkludert følgende.
A. For å forhindre forurensning eller skade på renrom (område) som har blitt "tomt" godkjent under installasjonsprosessen av produksjonsutstyr, må installasjonsprosessen av utstyret ikke ha overdreven vibrasjon eller helning, og det må ikke deles og forurense utstyrets overflater.
B. For å gjøre installasjonen av produksjonsutstyr i renrom (område) ordnet og uten eller med mindre stillestående, og for å følge systemet for styring av ren produksjon i renrom, må det sikres at installasjonsprosessen for produksjonsutstyret er beskyttet i henhold til de ulike "ferdige produktene" og "halvfabrikata" som aksepteres i "tom tilstand", må materialer, maskiner osv. som må brukes i installasjonsprosessen ikke avgi eller produsere (inkludert ved normal drift av renrommet over lengre tid) forurensende stoffer som er skadelige for de produserte produktene. Renromsmaterialer som er støvfrie, rustfrie, fettfrie og ikke produserer støv under bruk, bør brukes.
C. Bygningens dekorasjonsoverflate i renrommet (området) bør beskyttes med renromsplater, filmer og andre materialer. Utstyrets bakplate bør være laget i henhold til design- eller utstyrstekniske dokumentasjonskrav. Hvis det ikke finnes noen krav, bør det brukes rustfrie stålplater eller plastplater. Karbonstålprofiler som brukes til uavhengige fundamenter og gulvforsterkninger bør behandles med korrosjonsbeskyttelse, og overflaten bør være flat og glatt. Elastiske tetningsmaterialer bør brukes til fuging.
D. Materialer skal merkes med ingredienser, varianter, produksjonsdato, lagringsgyldighetsperiode, instruksjoner for konstruksjonsmetode og produktsertifikater. Maskiner og verktøy som brukes i renrom(er) må ikke flyttes til ikke-rene rom(er) for bruk. Maskiner og verktøy må ikke flyttes til renrom(er) for bruk. Maskiner og verktøy som brukes i rent område skal sørge for at de eksponerte delene av maskinen ikke produserer støv, eller det skal tas tiltak for å forhindre at støv forurenser miljøet. Vanlig brukte maskiner og verktøy skal rengjøres i luftsluse før de flyttes til rent område, og de skal oppfylle kravene om å være oljefrie, smussfrie, støvfrie og rustfrie, og skal flyttes etter at inspeksjonen er bestått og et "Rent"- eller "Kun rent område"-skilt er festet.
E. Produksjonsutstyret i renrommet (området) må installeres på "spesifikke gulv", for eksempel hevede gulv. Utstyrsfundamentet bør vanligvis plasseres på den nedre tekniske mezzaninen eller på en porøs sementplate; aktivitetene som må demonteres for å installere fundamentet. Gulvets struktur bør forsterkes etter at det er kuttet med en håndholdt elektrisk sag, og dens bæreevne bør ikke være lavere enn den opprinnelige bæreevnen. Når et uavhengig fundament av en stålrammekonstruksjon brukes, bør det være laget av galvanisert materiale eller rustfritt stål, og den eksponerte overflaten bør være flat og glatt.
F. Når installasjonsprosessen for produksjonsutstyr i renrom (område) krever åpning av hull i veggpaneler, himlinger og hevede gulv, må ikke boreoperasjonene dele eller forurense overflatene på veggpaneler og himlingspaneler som må beholdes. Etter åpning av det hevede gulvet, når fundamentet ikke kan installeres i tide, bør sikkerhetsrekkverk og fareskilt installeres. Etter at produksjonsutstyret er installert, bør gapet rundt hullet forsegles, og utstyret og tetningskomponentene bør være i fleksibel kontakt, og forbindelsen mellom tetningskomponenten og veggpanelet bør være tett og fast. Tetningsflaten på den ene siden av arbeidsrommet bør være flat og glatt.
Publisert: 16. januar 2024