Installasjon av prosessutstyr i renrom bør være basert på utformingen og funksjonen til renrommet. Følgende detaljer vil bli introdusert.
1. Utstyrsinstallasjonsmetode: Den ideelle metoden er å stenge rent rom under installasjonsperioden for utstyret, og ha en dør som kan møte visningsvinkelen til utstyret eller reservere en passasje for å la nytt utstyr passere gjennom og komme inn i rent rom i rekkefølge for å hindre at rene rom nær installasjonsperioden blir forurenset, bør det tas beskyttelsestiltak for å sikre at rene rom fortsatt oppfyller kravene til renslighet og det påfølgende arbeidet som kreves.
2. Hvis arbeidet i renrom ikke kan stanses i hver installasjonsperiode, eller hvis det er konstruksjoner som må demonteres, må renrom som kjøres effektivt isoleres fra arbeidsområdet: midlertidige isolasjonsvegger eller skillevegger kan benyttes. For ikke å hindre installasjonsarbeidet, bør det være nok plass rundt utstyret. Hvis forholdene tillater det, kan tilgang til isolasjonsområdet skje gjennom servicekanaler eller andre ikke-kritiske områder: dersom dette ikke er mulig, bør det iverksettes tiltak for å minimere forurensningspåvirkningen fra installasjonsarbeidet. Isolasjonsområdet skal opprettholde likt trykk eller undertrykk. Tilførselen av ren luft bør avbrytes i høyblokkområdet for å unngå positivt trykk på det omkringliggende renrommet. Hvis tilgang til isolasjonsområdet kun er gjennom et tilstøtende rent rom, bør klebrige puter brukes for å fjerne skitt som bæres på skoene.
3. Etter å ha kommet inn i det høye området, kan engangsstøvler eller overtrekkssko og arbeidsklær i ett stykke brukes for å unngå å forurense rent rom. Disse engangsgjenstandene bør fjernes før de forlater karanteneområdet. Metoder for å overvåke området rundt isolasjonsområdet under utstyrsinstallasjonsprosessen bør utvikles og overvåkingsfrekvensen bør bestemmes for å sikre at forurensning som kan lekke inn i det tilstøtende renrommet oppdages. Etter at isolasjonstiltakene er satt opp, kan det settes opp ulike nødvendige offentlige servicefasiliteter som elektrisitet, vann, gass, vakuum, trykkluft og avløpsvannrørledninger, oppmerksomhet bør rettes mot å kontrollere og isolere røyken og rusk som genereres av operasjonen som så mye som mulig for å unngå utilsiktet spredning til omkringliggende renrom. Det skal også lette effektiv rengjøring før du fjerner isolasjonsbarrieren. Etter at de offentlige tjenesteanleggene oppfyller brukskravene, bør hele isolasjonsområdet rengjøres og dekontamineres i henhold til foreskrevne rengjøringsprosedyrer. Alle overflater, inkludert alle vegger, utstyr (fast og bevegelig) og gulv, bør støvsuges, tørkes og tørkes, med spesiell oppmerksomhet til rengjøring av områder bak utstyrsskjermer og under utstyr.
4. En foreløpig test av utstyrsytelsen kan utføres basert på de faktiske forholdene i renrommet og installert utstyr, men påfølgende aksepttesting bør utføres når de rene miljøforholdene er fullt ut oppfylt. Avhengig av forholdene på installasjonsstedet, kan du begynne å forsiktig demontere isolasjonsveggen; hvis tilførselen av ren luft er slått av, start den på nytt; tidspunktet for denne fasen av arbeidet bør velges nøye for å minimere interferens med det normale arbeidet i renrommet. På dette tidspunktet kan det være nødvendig å måle om konsentrasjonen av luftbårne partikler oppfyller spesifiserte krav.
5. Rengjøring og klargjøring av det indre av utstyret og nøkkelprosesskamrene bør utføres under normale renromsforhold. Alle innvendige kammer og alle overflater som kommer i kontakt med produktet eller er involvert i produkttransport må tørkes ned til nødvendig renhetsnivå. Rengjøringssekvensen til utstyret bør være fra topp til bunn. Hvis partikler spres, vil større partikler falle til bunnen av utstyret eller bakken på grunn av tyngdekraften. Rengjør den ytre overflaten av utstyret fra topp til bunn. Når det er nødvendig, bør overflatepartikkeldeteksjon utføres i områder der kravene til produktet eller produksjonsprosessen er kritiske.
6. Med tanke på egenskapene til rene rom, spesielt det store området, høy investering, høy ytelse og svært strenge krav til renslighet av høyteknologiske rene rom, er installasjonen av produksjonsprosessutstyr i denne typen rene rom mer lik den av vanlige renrom. Det er ingen spesifikke krav. For dette formål ga den nasjonale standarden "Code for Clean Room Construction and Quality Acceptance" utgitt noen bestemmelser for installasjon av produksjonsprosessutstyr i rene rom, hovedsakelig inkludert følgende.
A. For å forhindre forurensning eller til og med skade på rent rom (område) som har gjennomgått "tom" aksept under installasjonsprosessen av produksjonsprosessutstyr, må installasjonsprosessen av utstyret ikke ha overdreven vibrasjon eller tilt, og må ikke være delt og forurenser utstyrsoverflater.
B. For å gjøre installasjonen av produksjonsprosessutstyr i rene rom (område) ryddig og uten eller med mindre sitting, og for å følge det rene produksjonsstyringssystemet i rene rom, sikre at installasjonsprosessen av produksjonsutstyret er beskyttet iht. til de ulike "ferdige produktene" og "halvfabrikatene" som er akseptert i "tom tilstand", må materialer, maskiner osv. som må brukes i installasjonsprosessen ikke avgi eller kan produsere (inkludert ved normal drift av renholdet plass til lang tid) forurensninger som er skadelige for produktene som produseres. Renromsmaterialer som er støvfrie, rustfrie, fettfrie og som ikke produserer støv under bruk bør brukes.
C. Bygningsdekorasjonsoverflaten til det rene rommet (området) bør beskyttes med rene rompaneler, filmer og andre materialer; utstyrets bakplate skal være laget i henhold til design eller utstyrstekniske dokumentkrav. Hvis det ikke stilles krav, bør det brukes rustfrie stålplater eller plastplater. Karbonstålprofiler som brukes til uavhengige fundamenter og gulvforsterkninger skal behandles med anti-korrosjon, og overflaten skal være flat og glatt; elastiske tetningsmaterialer bør brukes til fuging.
D. Materialer skal merkes med ingredienser, varianter, produksjonsdato, lagringsgyldighetsperiode, byggemetodeinstruksjoner og produktsertifikater. Maskiner og verktøy som brukes i renrom (områder) må ikke flyttes til ikke-rene rom (områder) for bruk. Maskiner og verktøy må ikke flyttes til renrom (område) for bruk. Maskiner og verktøy som brukes i rene områder skal sikre at de utsatte delene av maskinen ikke produserer støv eller treffe tiltak for å forhindre at støv forurenser miljøet. Vanlige maskiner og verktøy bør rengjøres i luftsluse før de flyttes til et rent område og skal oppfylle kravene til å være oljefri, smussfri, støvfri og rustfri, og bør flyttes etter bestått inspeksjon og festing et "Rengjør" eller "Kun område"-skilt.
E. Produksjonsprosessutstyret i renrom (område) må installeres på "spesifikke gulv" som forhøyede gulv. Utstyrsfundamentet bør generelt settes på nedre tekniske mesaningulv eller på sementporøs plate; aktivitetene som må demonteres for å installere fundamentet. Strukturen til gulvet etter å ha blitt kuttet med en håndholdt elektrisk sag bør forsterkes, og bæreevnen bør ikke være lavere enn den opprinnelige bæreevnen. Når det brukes et uavhengig fundament av en stålrammekonstruksjon, bør den være laget av galvanisert materiale eller rustfritt stål, og den eksponerte overflaten skal være flat og glatt.
F. Når installasjonsprosessen av produksjonsprosessutstyr i renrom (område) krever åpning av hull i veggpaneler, undertak og hevede gulv, må ikke boreoperasjonene dele eller forurense overflatene til veggpaneler og himlingspaneler som må beholdt. Etter åpningen av det hevede gulvet når fundamentet ikke kan installeres i tide, bør sikkerhetsrekkverk og fareskilt installeres; etter at produksjonsutstyret er installert, skal gapet rundt hullet forsegles, og utstyret og tetningskomponentene skal være i fleksibel kontakt, og forbindelsen mellom tetningskomponenten og veggpanelet skal være tett og fast; tetningsflaten på den ene siden av arbeidsrommet skal være flat og glatt.
Innleggstid: 16-jan-2024