1.
The main function of clean room is to control the cleanliness, temperature and humidity of the atmosphere that products (such as silicon chips, etc.) are exposed to, so that the products can be produced and manufactured in a good environment space. Vi kaller dette rommet som rent rom. According to international practice, the cleanliness level is mainly determined by the number of particles per cubic meter of air with a diameter greater than the classification standard. Med andre ord, den såkalte støvfri er ikke 100% støvfri, men kontrollert i en veldig liten enhet. Of course, the particles that meet the dust standard in this standard are already very small compared to the common dust we see, but for optical structures, even a little dust will have a very large negative impact, so dust-free is an inevitable requirement i produksjonen av optiske strukturprodukter.
Å kontrollere antall støvpartikler med en partikkelstørrelse større enn eller lik 0,5 mikron per kubikkmeter til mindre enn 3520/kubikkmeter vil nå klasse A i den internasjonale støvfrie standarden. Den støvfrie standarden som brukes i brikknivåproduksjon og prosessering har høyere krav til støv enn klasse A, og en så høy standard brukes hovedsakelig i produksjonen av noen flis på høyere nivå. Antallet støvpartikler er strengt kontrollert til 35.200 per kubikkmeter, som ofte er kjent som klasse B i rent romindustri.
2. tre typer rene romstater
Tomt rent rom: et rent romanlegg som er bygget og kan brukes i bruk. Det har alle relevante tjenester og funksjoner. Imidlertid er det ikke noe utstyr som drives av operatører i anlegget.
Statisk rent rom: Et rent romanlegg med komplette funksjoner, riktige innstillinger og installasjon, som kan brukes i henhold til innstillingene eller er i bruk, men det er ingen operatører i anlegget.
Dynamisk rent rom: Et rent rom i normal bruk, med komplette servicefunksjoner, utstyr og personell; Om nødvendig kan normalt arbeid utføres.
3. Kontrollartikler
(1). Kan fjerne støvpartikler som flyter i luften.
(2). Kan forhindre generering av støvpartikler.
(3). Kontroll av temperatur og fuktighet.
(4). Trykkregulering.
(5). Eliminering av skadelige gasser.
(6). Lufttetthet i strukturer og rom.
(7). Forebygging av statisk elektrisitet.
(8). Forebygging av elektromagnetisk interferens.
(9). Vurdering av sikkerhetsfaktorer.
(10). Vurdering av energisparing.
4. Klassifisering
Turbulent strømningstype
Luft kommer inn i det rene rommet fra klimaanlegget gjennom luftkanalen og luftfilteret (HEPA) i rent rom, og returneres fra veggpanelene eller forhøyede gulv på begge sider av det rene rommet. Luftstrømmen beveger seg ikke på en lineær måte, men presenterer en uregelmessig turbulent eller virvel. Denne typen er egnet for klasse 1 000-100 000 rent rom.
Definisjon: Et rent rom der luftstrømmen strømmer i ujevn hastighet og ikke er parallell, ledsaget av tilbakestrømning eller virvelstrøm.
Prinsipp: Turbulente rene rom er avhengige av luftstrømmen for å kontinuerlig fortynne inneluften og gradvis fortynne den forurensede luften for å oppnå renslighet (turbulente rene rom er vanligvis designet på renslighetsnivået over 1000 til 300 000).
Funksjoner: Turbulente rene rom er avhengige av multippel ventilasjon for å oppnå renslighet og renslighetsnivå. Antall ventilasjonsendringer bestemmer rensingsnivået i definisjonen (jo mer ventilasjonsendring, jo høyere er renslighetsnivået)
) enn 20 minutter (15 minutter kan brukes til beregning) Klasse 10.000 forventes å være mer enn 30 minutter (25 minutter kan brukes til beregning) Klasse 100.000 forventes å være mer enn 40 minutter (30 minutter kan brukes til beregning)
(2) Ventilasjonsfrekvens (designet i henhold til ovennevnte krav til selvrensende tid) Klasse 1 000: 43,5-55,3 ganger/time (standard: 50 ganger/time) Klasse 10.000: 23.8-28.6 ganger/time (standard: 25 ganger/time ) Klasse 100 000: 14,4-19,2 ganger/time (standard: 15 ganger/time)
Fordeler: Enkel struktur, konstruksjonskostnader for lav system, lett å utvide rent rom, på noen spesielle formålsteder, kan støvfri ren benk brukes til å forbedre rent romkarakteren.
Ulemper: Støvpartikler forårsaket av turbulens flyter i innendørs rom og er vanskelig å slippes ut, noe som lett kan forurense prosessprodukter. I tillegg, hvis systemet blir stoppet og deretter aktivert, tar det ofte lang tid å oppnå den nødvendige renslighet.
Laminær flyt
Laminær strømningsluft beveger seg i en enhetlig rett linje. Luft kommer inn i rommet gjennom et filter med 100% dekningshastighet og returneres gjennom forhøyet gulv eller partisjonsbrett på begge sider. Denne typen er egnet for bruk i rene rommiljøer med høyere rentromskarakterer, vanligvis klasse 1 ~ 100. Det er to typer:
(1) Horisontal laminær strømning: Horisontal luft blåses ut fra filteret i en enkelt retning og returneres av returluftsystemet på motsatt vegg. Støv slippes ut utendørs med luftretning. Generelt er forurensning mer alvorlig på nedstrøms side.
Fordeler: Enkel struktur, kan bli stabil på kort tid etter operasjonen.
Ulemper: byggekostnadene er høyere enn turbulent strømning, og innendørs plass er ikke lett å utvide.
(2) Vertikal laminær strømning: Romtaket er fullstendig dekket med ULPA -filtre, og luft blåses fra topp til bunn, som kan oppnå en høyere renslighet. Støv som genereres under prosessen eller av personalet kan raskt slippes ut utendørs uten å påvirke andre arbeidsområder.
Ulemper: Høye konstruksjonskostnader, vanskelig å fleksibelt bruke plass, takhengere okkuperer mye plass og plagsom til å reparere og erstatte filtre.
Sammensatt type
Den sammensatte typen er å kombinere eller bruke turbulent strømningstype og laminær strømningstype sammen, som kan gi lokal ultra-ren luft.
(1) Ren tunnel: Bruk HEPA- eller ULPA -filtre for å dekke 100% av prosessområdet eller arbeidsområdet for å øke renslighetsnivået til over klasse 10, noe som kan spare installasjons- og driftskostnader.
Denne typen krever at operatørens arbeidsområde blir isolert fra produktet og maskinvedlikehold for å unngå å påvirke arbeidet og kvaliteten under maskinvedlikehold.
Rene tunneler har to andre fordeler: A. Enkel å utvide fleksibelt; B. Vedlikehold av utstyr kan enkelt utføres i vedlikeholdsområdet.
(2) Rent rør: Omgi og rense den automatiske produksjonslinjen som produktstrømmen passerer gjennom, og øke renslighetsnivået til over klasse 100. Fordi produktet, operatøren og støvgenererende miljøet er isolert fra hverandre, en liten mengde av Luftforsyning kan oppnå god renslighet, som kan spare energi og er best egnet for automatiserte produksjonslinjer som ikke krever manuell arbeidskraft. Det er aktuelt for farmasøytiske, mat- og halvlederindustrien.
(3) Rent sted: Renslighetsnivået til produktprosessområdet i det turbulente rene rommet med et rent romnivå på 10.000 ~ 100.000 økes til 10 ~ 1000 eller over for produksjonsformål; Rene arbeidsbenker, rene skur, prefabrikkerte rene rom og rene garderober tilhører denne kategorien.
Ren benk: Klasse 1 ~ 100.
Clean Booth: En liten plass omgitt av antistatisk gjennomsiktig plastduk i turbulent rent rom, ved bruk av uavhengige HEPA- eller ULPA- og klimaanlegg for å bli et rent rom på høyere nivå, med et nivå på 10 ~ 1000, en høyde på omtrent omtrent 2,5 meter, og et dekningsområde på omtrent 10m2 eller mindre. Den har fire søyler og er utstyrt med bevegelige hjul for fleksibel bruk.
5. Luftstrømmen
Viktigheten av luftstrøm
Rensligheten til et rent rom påvirkes ofte av luftstrømmen. Med andre ord, bevegelse og diffusjon av støv generert av mennesker, maskinrom, bygningsstrukturer osv. Kontrolleres av luftstrøm.
The clean room uses HEPA and ULPA to filter air, and its dust collection rate is as high as 99.97~99.99995%, so the air filtered by this filter can be said to be very clean. Imidlertid, i tillegg til mennesker, er det også støvkilder som maskiner i det rene rommet. Once these generated dusts spread, it is impossible to maintain a clean space, so airflow must be used to quickly discharge the generated dust outdoors.
Påvirkende faktorer
Det er mange faktorer som påvirker luftstrømmen til et rent rom, for eksempel prosessutstyr, personell, monteringsmaterialer for rent rom, lysarmaturer, etc. Samtidig bør avledningspunktet for luftstrømmen over produksjonsutstyret også tas med i hensyn.
Luftstrømningsstedet på overflaten av et generell operasjonsbord eller produksjonsutstyr skal settes til 2/3 av avstanden mellom det rene romrommet og partisjonsbrettet. På denne måten, når operatøren jobber, kan luftstrømmen strømme fra innsiden av prosessområdet til driftsområdet og fjerne støvet; Hvis avledningspunktet er konfigurert foran prosessområdet, vil det bli en feil luftstrømningsavledning. På dette tidspunktet vil det meste av luftstrømmen strømme til baksiden av prosessområdet, og støvet forårsaket av operatørens drift vil bli ført til baksiden av utstyret, og arbeidsbenken vil bli forurenset, og utbyttet vil uunngåelig avta.
Hindringer som arbeidsbord i rene rom vil ha virvelstrømmer i krysset, og rensligheten i nærheten vil være relativt dårlig. Å bore et returlufthull på arbeidsbordet vil minimere virvelstrømfenomenet; Hvorvidt valg av monteringsmaterialer er passende og om utstyrsoppsettet er perfekt, er også viktige faktorer for om luftstrømmen blir et virvelstrømfenomen.
6. Sammensetning av rent rom
Sammensetningen av rent rom er sammensatt av følgende systemer (hvorav ingen er uunnværlig i systemmolekylene), ellers vil det ikke være mulig å danne et komplett rent rom av høy kvalitet:
(1) Takssystem: inkludert takstang, I-bjelke eller U-bjelke, taknett eller takramme.
(2) Klimaanlegg: inkludert lufthytte, filtersystem, vindmølle, etc.
(3) Partitional vegg: inkludert vinduer og dører.
(4) Gulv: inkludert forhøyet gulv eller antistatisk gulv.
(5) Belysningsarmaturer: LED -renset flatlampe.
Hovedstrukturen i det rene rommet er vanligvis laget av stålstenger eller bensement, men uansett hva slags struktur det er, må den oppfylle følgende forhold:
A. Ingen sprekker vil oppstå på grunn av temperaturendringer og vibrasjoner;
B. Det er ikke lett å produsere støvpartikler, og det er vanskelig for partikler å feste;
C. lav hygroskopisitet;
D. For å opprettholde fuktighetsforholdene i rent rom, må den termiske isolasjonen være høy;
7. Klassifisering ved bruk
Industrielt rent rom
Kontrollen av livløse partikler er objektet. Det kontrollerer hovedsakelig forurensning av luftstøvpartikler til arbeidsobjektet, og interiøret opprettholder generelt en positiv trykktilstand. Det er egnet for presisjonsmaskinerindustri, elektronikkindustri (halvledere, integrerte kretsløp, etc.), luftfartsindustri, kjemisk industri med høy renhet, atomenergiindustri, optisk og magnetisk produktindustri (CD, film, båndproduksjon) LCD (flytende krystall glass), datamaskinens harddisk, datamaskinhodeproduksjon og andre bransjer.
Biologisk rent rom
Kontrollerer hovedsakelig forurensning av levende partikler (bakterier) og livløse partikler (støv) til arbeidsobjektet. Det kan deles inn i;
A. Generelt biologisk rent rom: Kontrollerer hovedsakelig forurensning av mikrobielle (bakterielle) objekter. Samtidig må dets indre materialer kunne motstå erosjonen av forskjellige steriliseringsmidler, og interiøret garanterer generelt positivt trykk. I hovedsak må de indre materialene tåle forskjellige steriliseringsbehandlinger av industrielt rent rom. Eksempler: Farmasøytisk industri, sykehus (operasjonsrom, sterile avdelinger), mat, kosmetikk, drikkeproduksjon av drikkevarer, dyrelaboratorier, fysiske og kjemiske testlaboratorier, blodstasjoner, etc.
B. Biologisk sikkerhetsrent rom: Kontrollerer hovedsakelig forurensning av levende partikler av det arbeidende objektet til omverdenen og menneskene. Det indre trykket må opprettholdes negativt med atmosfæren. Eksempler: Bakteriologi, biologi, rene laboratorier, fysisk ingeniørfag (rekombinante gener, vaksineforberedelse)
Post Time: Feb-07-2025